MOCVD行業(yè)應(yīng)用方案
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當(dāng)前LED產(chǎn)品廣泛地用于顯示器、交通信號燈、汽車燈、手機鍵盤、裝飾照明等行業(yè)，政府也對該產(chǎn)業(yè)給予大力的支持，目前的LED產(chǎn)業(yè)是絕對的朝陽產(chǎn)業(yè)。
金屬有機物化學(xué)氣相淀積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition, 簡稱MOCVD）是生產(chǎn)LED晶圓的主流方法。
一套MOCVD設(shè)備中需要配備若干臺高功率電源設(shè)備為系統(tǒng)供應(yīng)能量，且不同的系統(tǒng)部件需求不同功率等級電源設(shè)備。MOCVD的一次制程長達(dá)數(shù)個小時，在此過程中如任何一臺電源發(fā)生故障，會導(dǎo)致整個制程失敗，損失幾萬美元的晶圓材料以及相應(yīng)的時間。因此，對于應(yīng)用于MOCVD設(shè)備中的電源來說，首要的要求就是可靠性。
AMETEK Sorensen SG系列直流電源提供了MOCVD客戶所需的高可靠性的同時，還具備高精度，高功率密度，易于集成等特點，在此行業(yè)應(yīng)用中，該系列產(chǎn)品具有良好的口碑。
在使用過程中，MOCVD廠家會使用溫度傳感器嚴(yán)格控制加熱器的溫度，同時考慮到氣態(tài)的半導(dǎo)體原材料，風(fēng)冷的設(shè)備有可能會吸入帶電半導(dǎo)體顆粒導(dǎo)致?lián)p壞，所以部分客戶要求水冷的電源產(chǎn)品。AMETEK還推出水冷的高功率直流電源產(chǎn)品 - ASD系列產(chǎn)品，以進一步提高可靠性。
案例分享
某MOCVD行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)廠家先后選購SG系列直流電源和XG系列直流電源數(shù)十臺用于LED晶圓生產(chǎn)。
